微波真空高溫爐是基于微波馬弗爐加熱原理，并結合真空高溫爐設計技術，形成的一種新式材料高溫產品，兼顧微波高溫快速加熱和真空環境處理兩個優勢，根據真空系統的設計思想不同，分為箱體式真空和器具式真空，前者通常為微波真空高溫爐結構，后者通常為微波真空高溫管式爐結構。